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日本MSA 晶圓加熱載體

產品時間：2024-03-28
晶片溫度特性測試，用于安裝探頭的熱卡盤 玻璃卡盤，基材電特性測試
數字溫度控制器

主要應用。

晶片溫度特性測試，用于安裝探頭的熱卡盤 玻璃卡盤，基材電特性測試

數字溫度控制器

通過一個一鍵式連接器連接到MSA工廠標準溫度控制器。 通過簡單的操作可以立即進行高度精確的溫度控制。 pcc100_sg

支持定制的卡盤模式

標準卡盤模式：如果將工件放在中央卡盤孔中，可提供通用尺寸（例如6英寸、4英寸、3英寸和6英寸的卡盤）。 如果有其他卡盤模式（如卡盤位置的規格），可以定制。

卡盤表面 導電性/絕緣性/漏電性

卡盤表面有導電規格，如鍍金（最高200°C）和鍍鎳（最高400°C），也有絕緣規格，如礬土處理（400°C）和氧化鋁涂層。 卡盤面配備了一個GND端子，這樣就可以連接到測量設備的GND上，等等。

特征

image.png緊湊型晶圓卡盤加熱載體，高精度溫度控制

(±1.0%)

*如果需要更高精度類型的產品，請聯系我們。

低成本、薄型晶圓加熱載體

通過使用溫度控制器（單獨出售），可以進行廣泛的溫度設置。 (室溫-200°C)。

可提供各種附加功能的定制。

定位銷、晶圓尺寸切換桿等。



半導體晶圓的加熱程序管控

各種  評價用界面、可以與您的設備相連接。



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    規格和定制


規格（標準）




定制設置

溫度設置范圍

室溫―200℃

○

加熱板功率

２00-４00W

○

工作臺尺寸

φ ７５～１00mm

○（其他定制尺寸）

工作臺材質

アルミ、SUS

○

選配

晶圓切換功能、工作臺安裝板等

○

*關于其他精元尺寸，PH200,300系列可以接受定制對應。

定制：○為可以為客戶定制需要的規格。









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